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集成电路生产用水的用途及水质要求

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类别

用途

水质要求

一般生产用水

1、一般洗涤用水

符合《生活饮用水卫生标准》(GB5749-85)

2、动力设备冷却水系统的补充水

3、制取软化水、纯水的原水

软化水

1、工艺生产设备冷却水系统的补充水

硬度<0.1mmol/L

2、锅炉用补充水

纯水

初级纯水

1、工艺生产设备冷却水系统的补充水

电阻率>0.5MΩ.cm (25。)

2、空调用加湿水

3、锅炉用补充水

超纯水

1、硅片清洗

电阻率>18MΩ.cm (25。)等

2、化学剂配制

工艺生产设备冷却水

设备冷却

电阻率0.1~1 MΩ.cm经10μm过滤

纯水制取设备的主要任务是去除水中的溶解离子、有机物、微粒、细菌、溶解氧、二氧化硅等六类杂质。超纯水系统一般包括预处理-生成-精处理-回收四个阶段,其流程应根据用水水质要求、原水水质及运行管理、经济性等因素而确定,一般流程如下

原水箱-→水泵-→热交换器-→多介质过滤器-→碳滤器-→过滤器-→RO-1-→RO-2-→MB过滤器-→膜脱器-→纯水箱-→精混床-→UF-→用水点